超音波を使った流量計の秘密はカルマン渦

サーパス工業株式会社は、半導体製造装置・医療機器・石油プラントなどで使われる薬液供給システムをトータルシステムとして販売している会社です。しかし、サーパス工業株式会社の薬液供給システムに使われている、クイックコネクター・バルブ・圧力センサー・レギュレーターなどは1点1点見ても優れた特長を持っています。

特にフローメーターとも呼ばれている流量計は、既存の薬液供給システムに追加工事なしで取り付けることができます。その秘密は、超音波を利用して流量を測ることです。配管の中を液体が流れるとカルマン渦と呼ばれる渦を生じるので、それを測定することで薬液の流れる速度を計算できるのです。サーパス工業株式会社の流量計は表示付きと表示無しの二タイプがあります。

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